HMDS预处理机 智能HMDS真空烘箱 提供HMDS烘箱样机作用
HMDS（六甲基二硅氮烷）为半导体应用的光刻胶粘合促进剂。
HMDS烘箱将六甲基二硅胺烷HMDS气相沉积至半导体制造中硅片、lnP、GaAs、铌锂LiNbO₃、硫化锌ZnS、掩膜版玻璃、石英片、蓝宝石、晶圆、碳化硅等第三代、第四代半导体材料表面后经系统加温，它成功地将硅片表面由亲水变为疏水，其疏水基可很好地与光刻胶结合，起着偶联剂的作用。
HMDS预处理机 智能HMDS真空烘箱 提供HMDS烘箱样机技术性能
处理产品：2-12寸晶圆及方片均可兼容（可定制）
材质：内箱采用 316L 级不锈钢
温度范围：80-200℃
真空度：≤1torr
工艺数量：5个工艺设定并保存
操作界面：智能型彩色人机界面，一键完成工艺
真空泵：无油涡旋真空泵（或旋片油泵）
HMDS预处理机 智能HMDS真空烘箱 提供HMDS烘箱样机其他功能
HMDS低液位报警提示功能
工艺数据记录功能
脱水烘烤
温度保护程序锁定保护
图形反转功能
HMDS泄漏报警提示功能
冀公网安备13010402003046号