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设备名称 单片清洗机

用途   晶圆、掩膜版的清洗和甩干

操作方式 自动

适用领域 半导体材料、集成电路、MEMS、LED芯片、功率器件等

适用工艺 晶圆的RCA清洗、兆声清洗和甩干、二流体清洗、刷洗、旋涂等

清洗方式 旋流式冲洗喷嘴，兆声DIW清洗

可清洗尺寸   2吋--12吋晶圆

真空值     显示屏同步显示，可达≤-90KPa

兆声清洗 兆声频率280-950KHz可选，功率可调；

伺服电机 采用进口专用旋转电机，运行安静平稳，0- 3500RPM+转/秒加速仅需0.5秒

真空吸盘 采用PEEK、PTFE材质，强度高、耐腐蚀、密封性能好

载片台     采用真空吸附+PIN定位，防止甩片碎片

主体材质 不锈钢、PP、PVC

槽体材质 不锈钢、PP、PVDF

安全防护 自动安全门、漏液报警、声光报警系统

模块化设计

     满足客户多种工艺及产能的定制化要求

     可编程菜单，方便用户操作，直观

     实时流程显示，可控性强

     多级密码，方便管理，安全可靠

     自动保存生产数据

可实现功能   可装配装取片机器人

     可配置滚刷刷洗；

     化学液及纯水自动供应，流量可视可调

     可实现远程控制