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设备名称 显影机

用途   可用于去胶、显影等黄光区操作

操作方式 手动/半自动/自动

适用领域 半导体、LED芯片、MEMS等

适用工艺 匀胶、显影、去胶

显影方式 槽式

适用尺寸 2吋--12吋晶圆

供给 手动或自动供给

主体材质 不锈钢、PP、PVC

槽体材质 不锈钢、PP、PVDF

温控精度 ±1℃

安全防护 自动安全门、漏液报警、漏电保护、液位保护、急停、声光报警系统

模块化设计   满足客户多种工艺及产能的定制化要求

     可编程菜单，方便用户操作，直观

     实时流程显示，可控性强

     多级密码，方便管理，安全可靠

     自动保存生产数据

     可实现远程控制

可实现功能 管理系统（自动供液、自动补液、循环过滤）、机械抛动、恒温系统、自动灭火等