磁场成像显微镜系统 Magma EFI HiRes

产品简介

Magma磁场成像显微镜系统（简称Magma）是Neocera Magma公司研发的一种新型半导体失效分析工具。它拥有一套独特的传感器和技术，可以检测和定位所有静态缺陷。

Magma具有很大的可靠性，适用于探测开路、短路、漏电和高电阻开路的位置。此外，磁场成像可用于生成3D故障分析的深度信息，甚至可以用于多层器件。

在半导体失效分析领域，Magma可以定位微电子系统中的所有静态缺陷（短路、漏电和开路）。它可以容纳Die-level互连的300毫米晶圆、zui 终封装的PC板、以及所有类型的封装器件，包括各种具有异质集成的多芯片模块器件、叠层器件、3DICs和SiP。

新型平台的设计使用了终端用户的输入，以提供用户友好型的设置和操作，以及更高的工作量和更低的运营成本。

基础配置：配备高灵敏度的SQUID传感器，用于低电流、无损检测短路、漏电和高电阻开路。可实现低成本定位，用于检测封装器件和PC板中的短路及漏电。

EFI工具：能够以很高的 jing 确度检测失效的开路故障。

HiRes工具：将两个传感器组合成一个工具。在靠近电流扫描时，SQUID传感器用于检测尽可能 zui 小的电流，磁阻传感器用于获得 zui 佳的空间分辨率。因此，其具有两方面的优点：空间定位和灵敏度。

应用

1.解决了所有的静态缺陷:短路、泄漏和断路。

2.三维缺陷定位计算样本表面到当前路径的距离，当直流电迹可用时，新的软件能够在所有三维重建当前路径。

3.由于磁场渗透所有材料，SQUID 传感器可以很自然的发现封装短路故障。

4.使用大于500nm空间分辨率的HiRes传感器定位模具短路。磁场分辨率不受波长的限制，只受传感器尺寸和扫描距离的限制。

5.在500nA电流灵敏度下，可以发现ω电阻的泄漏。

6.使用SDR技术，在检测电流产生的射频磁场时，应用高频信号(20MHz至200MHz)，可以发现故障。

仪器参数