UV曝光过程

曝光的目的是通过ji活光刻胶某些部分中的 PAC（PhotoActiv 组件）来引发交联。这种活化将改变树脂的局部特性，树脂在烘烤后将溶于或不溶于溶剂。由于SU-8是负性光刻胶，纯硅模具，这意味着暴露在紫外线下的部分会变硬，而另一部分会在显影过程中溶解。必须仔细选择一些参数：

SU-8的曝光波长为365nm。

时间取决于层厚和灯的功率。

接触模式很重要，如果没有硬接触，您可能会失去一些分辨率，而使用真空接触，您可能会将晶圆粘在掩模上。

纯硅模具是一种使用高纯度硅材料制成的模具，具有良好的耐热性和耐腐蚀性，适用于高温和化学腐蚀环境下的模具制造。纯硅模具的制造过程包括硅的提纯、成型、烧结和表面处理等步骤。纯硅模具的优点包括高精度、高硬度、高耐磨性和长寿命等，广泛应用于汽车、航空、电子、等领域。

PDMS芯片模具的报价主要由以下几个方面决定：
1.客户对产品形状、尺寸和复杂程度的要求。如果要求较高，制造成本也会相应增加。
2.PDMS是一种较为复杂的3D打印技术，设备成本和维护费用相对较贵，因此价格也稍高一些。此外，制作流程中还需要考虑到设计稿件的度、图纸转换过程的误差以及软件建模模拟等附加工序环节等因素的影响。这些都会在终的价格里得到体现。
总的来说具体收费要根据实际需求而定，以上信息仅供参考，您可以咨询人员了解更多细节。

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