质量流量控制器的工作压差范围通常比较小 ，要在高压条件下正常使用需要特别注意三点:
一、是要选择耐压符合要求的 MFC;
二、是要挑选工作压差范围大的产品型号；
三、要在 MFC 气路前面加减压阀，稳定入口气压，在 MFC 下游加背压阀，稳定反应室和 MFC 出口的气压，适当调节减压阀和背压阀，要保证 MFC 的工作压差不会超过规定的范围(见下图的高压工作示意图)。
只要做到以上三点， MFC 就能够在高压条件下稳定工作。
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质量流量控制器在高压条件下如何使用?
发布时间：2023-02-02 浏览次数：33
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质量流量控制器的工作压差范围通常比较小 ，要在高压条件下正常使用需要特别注意三点: 一、是要选择耐压符合要求的 MFC; 二、是要挑选工作压差范围大的产品型号； 三、要在 MFC 气路前面加减压阀，稳定入口气压，在 MFC 下游加背压阀，稳定反应室和 MFC 出口的气压，适当调节减压阀和背压阀，要保证 MFC 的工作压差不会超过规定的范围(见下图的高压工作示意图)。 只要做到以上三点， MFC 就能够在高压条件下稳定工作。
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