
主要特点
采用反应气体等离子源辅助沉积,对工件进行预清洗及镀膜时的辅助沉积。
采用大功率的脉冲偏压电源,增强膜层的附着力。
3.采用多套孪生靶及弧,可同时安装2-6种不同纯金属或合金靶材,获得复合纳米镀层。
4.工件架采用公自转结构,承重能力强及耐高温,并可移动出腔体,方便装卸比较重的模具,或根据客户要求定制,采用变频器调节
转速无极可调节。
5.采用触摸屏及PLC.可实现全自动控制,自动和手动随时切换。

特种设备制造, 卷绕镀膜设备, 复合铜箔设备
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GRDLC(diamond-like carbon)镀膜设备
详细信息
主要特点
3.采用多套孪生靶及弧,可同时安装2-6种不同纯金属或合金靶材,获得复合纳米镀层。 4.工件架采用公自转结构,承重能力强及耐高温,并可移动出腔体,方便装卸比较重的模具,或根据客户要求定制,采用变频器调节 转速无极可调节。 5.采用触摸屏及PLC.可实现全自动控制,自动和手动随时切换。
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