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一、产品简介

AS200系列气体质量流量控制器，为气体质量流量的控制、测量提供了高准确度及高可靠性。该型产品可支持数字信号，0～5V 模拟信号，4～20mA或 0~20mA 模拟信号，可以使用双电源（±15VDC）或单电源（+15～+28 VDC）。支持自动故障报警，多气体多量程等功能。标准开放的通讯协议为客户自行开发控制、采集软件提供便利。提供功能强大的免费客户端上位机软件。

除了标准品外，AS200气体质量流量控制器还可定制100SLM和200SLM量程范围的产品

二、产品亮点

● 可同时支持数字信号，0～5V 模拟信号，4～20mA或 0~20mA 模拟信号

● 使用双电源（±15 VDC）或单电源（+15～+28 VDC）

● 支持自动故障报警，多气体多量程等功能

三、应用场景

气体质量流量控制器（AS200系列）用于对气体的质量流量进行精密控制和测量。它们在半导体集成电路工艺、特种材料、化学工业、石油工业、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。其典型的应用场合包括: 集成电路工艺设备, 如外延炉、扩散炉、CVD、等离子刻蚀机、溅射台、离子注入机; 以及镀膜设备、光纤熔炼设备、微反应装置、混气配气系统、气体取样装置、毛细管测量仪、气相色谱仪及其它分析仪器。

技术参数