Aeration Turntable_SupplyPro Co., Ltd._Shenzhen Yize Automation Equipment Co., Ltd.

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	高精度气浮旋转平台 1. 核心工作原理气膜形成：通过转台底部的精密气孔阵列（节流孔）喷射高压气体（0.3-0.8MPa），在转盘与底座间形成3-20μm厚度的	2025-07-02
	气浮旋转平台 1. 核心工作原理气膜形成：通过转台底部的精密气孔阵列（节流孔）喷射高压气体（0.3-0.8MPa），在转盘与底座间形成3-20μm厚度的	2025-07-02
	手动气浮转台转速可达5000/分钟，最边缘处跳动小于0.3微米;气膜刚度大，客户可自行集成电机和编码器;可用于晶圆减薄、抛光，既可以作为载物台	2025-06-24
	气浮转台气浮转台配备用于位置控制的高精度旋转编码器，可以通过关闭进气来夹紧转子。核心组件：电机：作为动力源，驱动转台旋转，通常采	2025-06-24