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一、产品简介
AGP730是一款高精度电容式真空计（亦称电容薄膜式压力计（CDG）），适用于在光伏、半导体及工业市场中测量对过程控制至关重要的低真空压力范围。AGP730使用全Inconel®接液材料，可耐受腐蚀性工艺介质。符合RoHS规范的高频电子设计，具备特别低噪声的同时保持快速响应时间，满足当今关键控制应用需求。相比于竞品型号，其外部噪声抑制、快速预热、不受环境影响及长期稳定性等特点更为突出。
二、产品特点
• 耐化学品的Inconel®设计
• 精密真空测量
• 行业标准接头
• 高精度：标准±0.5%读数，可选±0.25%读数
• 张紧的膜片保证优异的性能
• 工作温度补偿范围宽
• 电路噪声低、响应快
• 不易受环境条件变化影响
• 出色的抗过压设计
• 符合 CE 和 RoHS 规范
三、应用场景
• 半导体行业
• PECVD/ALD工艺设备
• 等离子体刻蚀工艺设备
• 石化行业
• 等离子体灭菌器
• 真空包装
技术参数
工作环境 | 0~+80℃ |
测量范围 | 010T、10Torr、100M、100mbar |
精度 | ±0.5%读数、±0.25%读数（可选） |
输出方式 | 0~5V、0~10V |
响应时间 | ＜20ms |
长期稳定性 | 0.5%FS/1年，不包含环境条件影响 |
压力类型 | 绝压 |
冀公网安备13010402003046号