LH1000双频激光干涉仪

Information in English:

LH1000 Dual-frequency Interferometer.pdf

Nonlinear error analysis and experimental measurement of.pdf

专为光刻机配套开发的高精度测量系统；

通过国家重大专项“大规模集成电路制造技术及成套工艺”项目验收。

采用直接输出线偏振光的双频激光器；

非线性高精密测量系统，测量更准确；

可提供1~20MHz频差内任意频差产品，满足各种测量速度需要。

光源和测量信号接收单元分体式设计，方便搭建XY位移台等多轴测量系统；

精巧的测量信号光纤接收头，即使空间狭小也能方便安装；

标准光刻机干涉仪安装尺寸和数据接口，可直接替换现有产品。

（欲了解更多单频与双频干涉仪的性能特点和差异，请阅览本网站解决方案栏目中的：双频激光干涉仪）