表面疏水性处理设备  陶瓷玻璃疏水处理机原理

   HMDS疏水处理机通过气相涂布HMDS实现陶瓷表面疏水性能的提高，陶瓷表面接触角为118‑135度，且疏水材料与陶瓷基体的的附着性能好。

表面疏水性处理设备  陶瓷玻璃疏水处理机性能

   疏水处理后可以使水滴在接触到陶瓷纤维板表面时像荷叶上的露珠一样迅速滑落，从而有效防止水分侵入，避免潮湿引发的短路、腐蚀等问题‌。

生产工艺周期短，提高生产效率；

修饰液用量极少，节约成本；

闭环的工艺过程，安全系数高。

温度范围：RT+50-200℃

真空度：≤1torr

真空泵：无油涡旋真空泵

处理原理：气相沉积

涂布气体：HMDS等

工艺编辑：多个客制化工艺保存

产品兼容性：圆片及碎片、方片等

适用行业：MEMS、滤波、放大、功率等器件，晶圆、玻璃、陶瓷、贵金属，SiC(碳化硅)、GaN(氮化镓)、ZnO（氧化锌）、GaO（氧化镓）、金刚石等第三代半导体材料、、电子等新材料。

上海隽思仪器专用生产服务于，气相沉积设备、精密热板、HMDS预处理系统烘箱、智能型HMDS真空预处理系统烘箱、MSD超低湿烘箱、无尘烘箱、洁净烘箱，氮气烘箱、无氧烘箱、无尘无氧烘箱、真空烘箱、真空储存柜、超低温试验箱、超低湿试验箱等环境可靠性设备。