MPS150SV是6英寸探针台，适合需要在短的时间内精确对半导体元器件及材料、晶圆片进行IV/CV测试的用户使用。结合半导体器件分析仪可作为实验室的半导体器件分析测试平台。

MPS150SV 探针台为保护样片测量周期内高质量的接触，通过非常稳定的系统平台设计，完美的振动隔离方案，能够让用户取得想要的测量精度。工业标准探针座经过优化光学和无反向间隙X-Y-Z移动，接触分离驱动达到1μm重复性，相对于半自动探针台探针座摆放更加精密。高质量的三同轴信号线缆保证测试特性电流达到fA级别。低噪声的载片台可提供加热选件，让器件测试更加容易。

载片台采用X-Y-Z旋钮设计, 可单手调节操作, 高度平整的表面及可

移动性，让初学者和用户容易操作上手

该探针台设计具有可升级和扩展性，例如可升级阻抗测量（配合阻

抗分析仪），电容测试可达fF级别。保护用户的一次性投资。

产品特点：

让用户成为低噪声测量专家：半导体材料晶圆片I-V/C-V 测试通用平台

 i-V 测试达到 fA级别：全部采用triaxial线缆，高质量探针座

始终确保接触稳定性： 紧凑坚固的机械结构设计 ；保护每一位用户的未来投资；可根据将来的需求进行配置升级

培训操作无需费时：简单易用的设计